2025-07-09
潔凈室作為半導(dǎo)體生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)施,其建設(shè)和運(yùn)行過程中的能耗問題日益受到關(guān)注。隨著全球能源資源的日益緊張和環(huán)境保護(hù)意識的增強(qiáng),如何在半導(dǎo)體潔凈室建設(shè)中實(shí)現(xiàn)節(jié)能降耗已成為行業(yè)亟待解決的重要課題。
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半導(dǎo)體潔凈室